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        SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人

        SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人
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        • SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人

        SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人

        SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進口品牌。

        產(chǎn)品描述


        4軸大氣5片晶圓搬運機器人
        SA25_SA系列半導(dǎo)體機器人
         
        • ● 采用閉環(huán)伺服控制
        • ● 可選配免電池絕對式編碼器
        • ● 可根據(jù)設(shè)備布局定制底座和伸展軸行程
        • ● 末端執(zhí)?器類型:下托式

        臂長

        250mm

        額定/最大負(fù)載

        5晶圓

        搬運物

        Φ100~Φ300mm晶圓

        新時達(dá)眾為興SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人

        關(guān)鍵詞:

        新時達(dá)眾為興SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人

        規(guī)格參數(shù)

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